Gas Heater Introduction係利用一管件於內部加入金屬加熱圓棒，並於管件內壁與加熱圓棒間製作特殊專利流道，讓氣體於管路中流動時，能加長氣體的停滯時間，致使氣體能夠有效被加熱，藉由將氣體加熱並直接導入真空管路中，以達到對真空管路中之氣體產生適當之溫度，降低製程氣體反應之副產物堆積情形，降低管路堵塞的機率；一般應用於氣體需要再加熱升溫的機構，因此氣體加熱器應用範圍極為廣泛。