Gas Heater Introduction係利用一管件於內部加入金屬加熱圓棒,並於管件內壁與加熱圓棒間製作特殊專利流道,讓氣體於管路中流動時,能加長氣體的停滯時間,致使氣體能夠有效被加熱,藉由將氣體加熱並直接導入真空管路中,以達到對真空管路中之氣體產生適當之溫度,降低製程氣體反應之副產物堆積情形,降低管路堵塞的機率;一般應用於氣體需要再加熱升溫的機構,因此氣體加熱器應用範圍極為廣泛。